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2021年中国激光金耀奖

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29号 200mW单纵模连续紫外激光器

单频首选,紫外专攻,功率稳定,性能卓越! 单纵模紫外连续激光器,助力科研,再创辉煌!

产品主要特点及核心竞争力: 该产品通过泵浦光合束整形、谐振腔模式匹配、窄带滤波器选频、角度匹配倍频、宽温热补偿和自动反馈控制等技术手段,在国内率先实现了单纵模360nm连续紫外激光的高功率、优异光束质量和低噪声的长期稳定输出。 该产品特点是单纵模连续运转、相干长度长;激光波长短、光子能量大、热效应小;衍射效应小、分辨能力强。可满足紫外光刻、拉曼光谱、荧光激发、流式细胞术、共焦显微、生物仪器、半导体晶片微处理等领域需求。 目前已知国外仅有Coherent公司推出100mW的360nm紫外激光器,而且是多纵模的。 国家纳米操纵与制造国际联合研究中心采用我司的MSL-U-360nm激光器构建了紫外光刻系统,可实现直径大于40mm的一次性加工,成功完成了微纳复合周期结构的制备。经过一年多的运转,激光器性能稳定,满足长期使用要求。 产品获奖情况: 1、获得:吉林省科技进步一等奖1项。 2、专利:201920768582.6,“一种全固态V型腔单频激光器”。 3、专利:201921073279.0,“一种高光束质量的激光器”。 4、专利:202020311051.7,“用于紫外激光器的分光装置”。 5、发表《物理学报》,“双波长二极管合束端面抽运掺镨氟化钇锂单纵模360 nm紫外激光器”(SCI收录)。
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