产品主要特点及核心竞争力:
该产品通过泵浦光合束整形、谐振腔模式匹配、窄带滤波器选频、角度匹配倍频、宽温热补偿和自动反馈控制等技术手段,在国内率先实现了单纵模360nm连续紫外激光的高功率、优异光束质量和低噪声的长期稳定输出。
该产品特点是单纵模连续运转、相干长度长;激光波长短、光子能量大、热效应小;衍射效应小、分辨能力强。可满足紫外光刻、拉曼光谱、荧光激发、流式细胞术、共焦显微、生物仪器、半导体晶片微处理等领域需求。
目前已知国外仅有Coherent公司推出100mW的360nm紫外激光器,而且是多纵模的。
国家纳米操纵与制造国际联合研究中心采用我司的MSL-U-360nm激光器构建了紫外光刻系统,可实现直径大于40mm的一次性加工,成功完成了微纳复合周期结构的制备。经过一年多的运转,激光器性能稳定,满足长期使用要求。
产品获奖情况:
1、获得:吉林省科技进步一等奖1项。
2、专利:201920768582.6,“一种全固态V型腔单频激光器”。
3、专利:201921073279.0,“一种高光束质量的激光器”。
4、专利:202020311051.7,“用于紫外激光器的分光装置”。
5、发表《物理学报》,“双波长二极管合束端面抽运掺镨氟化钇锂单纵模360 nm紫外激光器”(SCI收录)。