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57号 G100激光干涉仪

G100激光干涉仪的有效口径为100mm。乾曜光学将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合，优化光学系统和机械系统结构，将高精度的成像系统和图像采集系统，稳定的激光干涉技术和1-6倍图像放大功能等一系列高精技术融合，满足科研级高精密光学元件和光学系统的测量的高端要求。

典型特点抗振功能：Sirius抗振移相（Anti-vibration PSI）解析软件，配合快速机械移相，可以在常的振动环境下，实现稳定、可靠的测量。高清分辨率：高清光学系统设计，更强的细节分辨能力，100mm主机空间分辨率（周期数）大于500 对（机械移相模式），达到Zygo VerifireHD同等水平（450 对）。