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2021年中国激光金耀奖

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57号 G100激光干涉仪

G100激光干涉仪的有效口径为100mm。乾曜光学将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合,优化光学系统和机械系统结构,将高精度的成像系统和图像采集系统,稳定的激光干涉技术和1-6倍图像放大功能等一系列高精技术融合,满足科研级高精密光学元件和光学系统的测量的高端要求。

典型特点 抗振功能:Sirius抗振移相(Anti-vibration PSI)解析软件,配合快速机械移相,可以在常的振动环境下,实现稳定、可靠的测量。 高清分辨率:高清光学系统设计,更强的细节分辨能力,100mm主机空间分辨率(周期数)大于500 对(机械移相模式),达到Zygo VerifireHD同等水平(450 对)。
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